2010年1月18日下午，上海纳米技术工作组组织召开了国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》、《椭圆偏振仪测试硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》专家会审。
会议由全国纳米技术标准化技术委员会王孝平副秘书长主持，来自科研、技术、生产单位及标准等方面的11名专家听取了标准承担单位相关人员所作的标准起草工作、标准内容和编制说明等汇报，并对标准送审稿的内容进行了逐条逐句的详细评审。专家组一致认为两项标准送审稿完整可行，建议起草单位会后按评审会提出的意见修改后报送上级主管部门。会后，上海纳米技术工作组将负责指导和督促标准起草单位及时按照评审会专家意见进行修改，并上报国家标准化管理委员会待批准发布。
